激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统

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• 科学院，有色金属研究院，大学科研课题研究
• 激光应用 晶体研究 超导物理

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• JJH-PLDC

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1. 计算机按程序控制基片加热系统的真空炉体温度，使炉体温度按设定程序曲线运行，包括升温段、恒温段、降温段
2. 计算机控制扫描反射镜的旋转和摆动，使激光光束按照特定的轨迹偏转
3. 计算机控制安装在步进电机驱动的行星齿轮末端靶位，实现靶位定时切换
4. 准分子激光器的计算机控制系统，包括脉冲发射启动，停止，激光脉冲发射频率
5. 专用的激光镀膜计算机控制系统-PLDC应用软件
6. 专用的硬件控制系统